Modified Hot-Zone Design of Growth Cell for Reducing the Warpage of 6"-SiC Wafer

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	International Conference on Silicon Carbide and Related Materials (18. : 2019 : Kyōto) Silicon carbide and related materials 2019
1. Verfasser:	Jang, B. K. (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Park, J. H. (VerfasserIn), Choi, J. W. (VerfasserIn), Yang, E. (VerfasserIn), Kim, J. G. (VerfasserIn), Ko, S. K. (VerfasserIn), Kyun, M. O. (VerfasserIn), Ku, K. R. (VerfasserIn), Jang, Y. S. (VerfasserIn), Lee, W. J. (VerfasserIn)
Pages:	2019
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	2020
Schlagworte:
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!