Amorphous and microcrystalline silicon carbide films by the polymer route

Los Angeles, Univ. of California, Ph. D. Thesis : 1993

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Chu, Cheng-Jye (VerfasserIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:eng
Veröffentlicht: Ann Arbor University Microfilms Int./UMI 1994
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Beschreibung
Zusammenfassung:Los Angeles, Univ. of California, Ph. D. Thesis : 1993
Beschreibung:165 S