Diffractometry and scatterometry : 24-28 May 1993, Warsaw, Poland

Diffractometry and scatterometry 24-28 May 1993, Warsaw, Poland

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Körperschaften: SPIE, The International Society for Optical Engineering Poland Chapter (BerichterstatterIn), International Conference on Diffractometry and Scatterometry (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser: Pluta, Maksymilian (HerausgeberIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:eng
Veröffentlicht: Bellingham, Wash. SPIE 1994
Schriftenreihe:SPIE proceedings series 1991
SPIE Poland Chapter proceedings 12
Schlagworte:
Konferenzschrift
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Beschreibung
Beschreibung:Includes bibliographical references and index
Beschreibung:XVI, 268 S
Ill., graph. Darst
ISBN:0819412406
0-8194-1240-6