Interpretation of Donor Activation in Boron and Argon Implanted Self-Aligned Bottom-Gate IGZO TFTs

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Pacific Rim Meeting on Electrochemical and Solid State Science (2020 : Online) (15.) Thin Film Transistors 15 (TFT 15)
1. Verfasser:	Kabir, M. S. (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Chowdhury, R. R. (VerfasserIn), Manley, R. G. (VerfasserIn), Hirschman, K. D. (VerfasserIn)
Pages:	15
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	2020
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