Structural Evaluation of CVD WSi[x] and Its Effect on Polycide Line Resistance

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Handōtai-Shūseki-Kairo-Gijutsu-Shinpojiumu (49 : 1995 : Tokio) 49. Handōtai Shuseki Kairo Gijutsu Shinpojiumu Kōen Ronbunshū
1. Verfasser:	Byun, J. (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Lee, B. H. (VerfasserIn), Kim, E. Y. (VerfasserIn), Hwang, H. (VerfasserIn), Park, J. W. (VerfasserIn), Kim, J. J. (VerfasserIn)
Pages:	49
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	1995
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