Al Multilevel Metallization of Damascene Process using Al Reflow Sputtering and Chemical Mechanical Polishing

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Handōtai-Shūseki-Kairo-Gijutsu-Shinpojiumu (49 : 1995 : Tokio) 49. Handōtai Shuseki Kairo Gijutsu Shinpojiumu Kōen Ronbunshū
1. Verfasser:	Kikuta, K. (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Nakajima, T. (VerfasserIn), Hayashi, Y. (VerfasserIn), Chikaki, S. (VerfasserIn), Kikkawa, T. (VerfasserIn)
Pages:	49
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	1995
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