Process Integration of SrBi2Ta2O9 Ferroelectric Capacitors

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Handōtai-Shūseki-Kairo-Gijutsu-Shinpojiumu (52 : 1997 : Osaka) 52. Handōtai Shuseki Kairo Gijutsu Shinpojiumu Kōen Ronbunshū
1. Verfasser:	Judai, Y. (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Ito, T. (VerfasserIn), Mikawa, T. (VerfasserIn), Tanaka, K. (VerfasserIn), Nagano, Y. (VerfasserIn), Nasu, T. (VerfasserIn), Uemoto, Y. (VerfasserIn), Fujii, E. (VerfasserIn), Otsuki, T. (VerfasserIn)
Pages:	52
Format:	UnknownFormat
Sprache:	jpn
Veröffentlicht:	1997
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