Production Etching of Dielectrics and Metals for High Density Ferroelectric FeRAM and DRAM Applications

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Handōtai-Shūseki-Kairo-Gijutsu-Shinpojiumu (52 : 1997 : Osaka) 52. Handōtai Shuseki Kairo Gijutsu Shinpojiumu Kōen Ronbunshū
1. Verfasser:	Hambalek, S. (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Jerde, L. (VerfasserIn), Olson, K. (VerfasserIn), DeOrnellas, S. (VerfasserIn), Rajora, P. (VerfasserIn), Cofer, A. (VerfasserIn)
Pages:	52
Format:	UnknownFormat
Sprache:	jpn
Veröffentlicht:	1997
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