A 0.35 µ m Shallow SIMOX/CMOS Process Integration

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Handōtai-Shūseki-Kairo-Gijutsu-Shinpojiumu (52 : 1997 : Osaka) 52. Handōtai Shuseki Kairo Gijutsu Shinpojiumu Kōen Ronbunshū
1. Verfasser:	Urabe, S. (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Kaneko, S. (VerfasserIn), Naka, T. (VerfasserIn), Adan, A. O. (VerfasserIn), Kagisawa, A. (VerfasserIn)
Pages:	52
Format:	UnknownFormat
Sprache:	jpn
Veröffentlicht:	1997
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