High Performance Multilevel Interconnects Featured by Cu-dual-damascene in Low k, Organic Films

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Handōtai-Shūseki-Kairo-Gijutsu-Shinpojiumu (52 : 1997 : Osaka) 52. Handōtai Shuseki Kairo Gijutsu Shinpojiumu Kōen Ronbunshū
1. Verfasser: Hayashi, Y. (VerfasserIn)
Weitere Verfasser: Onodera, T. (VerfasserIn), Kawahara, J. (VerfasserIn), Takahashi, S. (VerfasserIn)
Pages:52
Format: UnknownFormat
Sprache:jpn
Veröffentlicht: 1997
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