Two Approaches to the Development of Low k Systems; Parylene AF-4, and Fluorinated Amorphous Carbon

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Handōtai-Shūseki-Kairo-Gijutsu-Shinpojiumu (52 : 1997 : Osaka) 52. Handōtai Shuseki Kairo Gijutsu Shinpojiumu Kōen Ronbunshū
1. Verfasser:	Harrus, A. (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Kelly, J. (VerfasserIn), Kumar, D. (VerfasserIn), Mountsier, T. (VerfasserIn), Plano, M. A. (VerfasserIn)
Pages:	52
Format:	UnknownFormat
Sprache:	jpn
Veröffentlicht:	1997
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