Integration of Copper Metallization with Bulk and SIMOX CMOS Device Technology

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Handōtai-Shūseki-Kairo-Gijutsu-Shinpojiumu (52 : 1997 : Osaka) 52. Handōtai Shuseki Kairo Gijutsu Shinpojiumu Kōen Ronbunshū
1. Verfasser:	Evans, D. R. (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Nguyen, T. (VerfasserIn), Ono, Y. (VerfasserIn), Kobayashi, M. (VerfasserIn), Hsu, S. T. (VerfasserIn)
Pages:	52
Format:	UnknownFormat
Sprache:	jpn
Veröffentlicht:	1997
Schlagworte:
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