Microdefects in Czochralski-Grown Silicon Crystals and Their Application to Gettering Technique
Gespeichert in:
| Veröffentlicht in: | Conference on Solid State Devices (13 : 1981 : Tokio) Proceedings of the 13th Conference on Solid State Devices |
|---|---|
| 1. Verfasser: | |
| Pages: | 13 |
| Format: | UnknownFormat |
| Sprache: | eng |
| Veröffentlicht: |
1982
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| Schlagworte: | |
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