Electro-migration in Cu Interconnects for Various Barrier Materials

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Handōtai-Shūseki-Kairo-Gijutsu-Shinpojiumu (54 : 1998 : Tokio) 54. Handōtai Shuseki Kairo Gijutsu Shinpojiumu Kōen Ronbunshū
1. Verfasser:	Hirao, S. (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Sato, H. (VerfasserIn), Sekiguchi, M. (VerfasserIn), Tamaki, T. (VerfasserIn)
Pages:	54
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	1998
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