Dielectric Constant of SiO2 Films Deposited by TICS/H2O CVD

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Handōtai-Shūseki-Kairo-Gijutsu-Shinpojiumu (54 : 1998 : Tokio) 54. Handōtai Shuseki Kairo Gijutsu Shinpojiumu Kōen Ronbunshū
1. Verfasser:	Sugiura, O. (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Makino, S. (VerfasserIn), Fujimoto, A. (VerfasserIn)
Pages:	54
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	1998
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