Fluorinated Low Dielectric Constant Polyimides by Vapor Deposition Polymerization

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Handōtai-Shūseki-Kairo-Gijutsu-Shinpojiumu (54 : 1998 : Tokio) 54. Handōtai Shuseki Kairo Gijutsu Shinpojiumu Kōen Ronbunshū
1. Verfasser:	Ukishima, S. (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Sato, M. (VerfasserIn), Iijima, M. (VerfasserIn), Takahashi, Y. (VerfasserIn), Sasaki, S. (VerfasserIn), Matsuura, T. (VerfasserIn), Yamamoto, F. (VerfasserIn)
Pages:	54
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	1998
Schlagworte:
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!