Properties of Ta2 O5 Capacıtor Deposited on Ru Electrode Electric

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Handōtai-Shūseki-Kairo-Gijutsu-Shinpojiumu (54 : 1998 : Tokio) 54. Handōtai Shuseki Kairo Gijutsu Shinpojiumu Kōen Ronbunshū
1. Verfasser: Kishiro, K. (VerfasserIn)
Weitere Verfasser: Inoue, N. (VerfasserIn), Chen, Shih C. (VerfasserIn), Yoshimaru, M. (VerfasserIn)
Pages:54
Format: UnknownFormat
Sprache:eng
Veröffentlicht: 1998
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