High Performance & Highly Reliable Deep Submicron CMOS-FETs Using Nitrided-Oxide

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Handōtai-Shūseki-Kairo-Gijutsu-Shinpojiumu (56 : 1999 : Osaka) 56.-Handōtai-Shuseki-Kairo-Gijutsu-Shinpojiumu-kōen-ronbunshū
1. Verfasser:	Irino, K. (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Tamura, Y. (VerfasserIn), Ohkubo, S. (VerfasserIn), Nakanishi, T. (VerfasserIn), Shigeno, M. (VerfasserIn), Hikazutani, K. (VerfasserIn), Higashi, M. (VerfasserIn), Fukuda, T. (VerfasserIn), Takasaki, K. (VerfasserIn)
Pages:	56
Format:	UnknownFormat
Sprache:	jpn
Veröffentlicht:	1999
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