Precise Etching of a Polymetal Gate Structure for 0.13 µm Device
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Veröffentlicht in: | Handōtai-Shūseki-Kairo-Gijutsu-Shinpojiumu (56 : 1999 : Osaka) 56.-Handōtai-Shuseki-Kairo-Gijutsu-Shinpojiumu-kōen-ronbunshū |
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Pages: | 56 |
Format: | UnknownFormat |
Sprache: | jpn |
Veröffentlicht: |
1999
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