The Influence of Integration Process on the Imprint in Pt-Pzt-Pt Ferroelectric Capacitors

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Handōtai-Shūseki-Kairo-Gijutsu-Shinpojiumu (53 : 1997 : Tokio) 53. Handōtai Shuseki Kairo Gijutsu Shinpojiumu Kōen Ronbunshū
1. Verfasser:	Lee, M. H. (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Hwang, Y. S. (VerfasserIn), Koo, B. J. (VerfasserIn), Lee, S. Y. (VerfasserIn), Jung, D. J. (VerfasserIn), Shin, D. W. (VerfasserIn), Lee, J. W. (VerfasserIn), Shin, S. H. (VerfasserIn), Chun, Y. S. (VerfasserIn), Kim, K. (VerfasserIn)
Pages:	53
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	1997
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