Effects of the Sputtering Deposition of Metal Gate Electrode on the Gate Dielectric Characteristics

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Handōtai-Shūseki-Kairo-Gijutsu-Shinpojiumu (58 : 2000 : Tokio) 58.-Handōtai-Shuseki-Kairo-Gijutsu-Shinpojiumu-kōen-ronbunshū
1. Verfasser:	Yamada, T. (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Moriwaki, M. (VerfasserIn), Harada, Y. (VerfasserIn), Eriguchi, K. (VerfasserIn)
Pages:	58
Format:	UnknownFormat
Sprache:	jpn
Veröffentlicht:	2000
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