Stress Analysis of Shallow Trench Isolation for 256Mbit DRAM and Beyond

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Handōtai-Shūseki-Kairo-Gijutsu-Shinpojiumu (55 : 1998 : Tokio) 55. Handōtai-Shuseki-Kairo-Gijutsu-Shinpojiumu-kōen-ronbunshū
1. Verfasser:	Horita, K. (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Kuroi, T. (VerfasserIn), Uchida, T. (VerfasserIn), Itoh, Y. (VerfasserIn), Inoue, Y. (VerfasserIn), Nishimura, T. (VerfasserIn)
Pages:	55
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	1998
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