SALICIDE Process for sub-0.15 μm Devices

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Handōtai-Shūseki-Kairo-Gijutsu-Shinpojiumu (55 : 1998 : Tokio) 55. Handōtai-Shuseki-Kairo-Gijutsu-Shinpojiumu-kōen-ronbunshū
1. Verfasser:	Iinuma, T. (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Ohuchi, K. (VerfasserIn), Akutsu, H. (VerfasserIn), Miyashita, K. (VerfasserIn), Yoshimura, H. (VerfasserIn), Toyoshima, Y. (VerfasserIn), Suguro, K. (VerfasserIn)
Pages:	55
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	1998
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Beschreibung
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