Aluminum Pillar Process for High Performance Cu Interconnects

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Handōtai-Shūseki-Kairo-Gijutsu-Shinpojiumu (57 : 1999 : Tokio) 57.-Handōtai-Shuseki-Kairo-Gijutsu-Shinpojiumu-kōen-ronbunshū
1. Verfasser:	Kajita, A. (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Higashi, K. (VerfasserIn), Matsunaga, N. (VerfasserIn), Shibata, H. (VerfasserIn)
Pages:	57
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	1999
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