Examination of Multilevel Interconnect Structure For 65nm-node ULSIs

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Handōtai-Shūseki-Kairo-Gijutsu-Shinpojiumu (63 : 2002 : Tokio) Handōtai, Shuseki-Kairo-Gijutsu-63.-Shinpojiumu-kōen-ronbunshū
1. Verfasser:	Tada, M. (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Harada, Y. (VerfasserIn), Hijioka, K. (VerfasserIn), Ohtake, H. (VerfasserIn), Takeuchi, T. (VerfasserIn), Saito, S. (VerfasserIn), Onodera, T. (VerfasserIn), Hiroi, M. (VerfasserIn), Furutake, N. (VerfasserIn), Hayashi, Y. (VerfasserIn)
Pages:	63
Format:	UnknownFormat
Sprache:	jpn
Veröffentlicht:	2002
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