Stacked Films Peel-off Phenomena on Cu-Damascene Process Using Low-k MSQ Dielectric

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Handōtai-Shūseki-Kairo-Gijutsu-Shinpojiumu (62 : 2002 : Tokio) Handōtai, Shuseki-Kairo-Gijutsu-62.-Shinpojiumu-kōen-ronbunshū
1. Verfasser:	Shimooka, Y. (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Satoh, S. (VerfasserIn), Higashi, K. (VerfasserIn), Matsunaga, N. (VerfasserIn), Miyajima, H. (VerfasserIn), Shibata, H. (VerfasserIn)
Pages:	62
Format:	UnknownFormat
Sprache:	jpn
Veröffentlicht:	2002
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