Evaluation of nm-order Structures of Low-k Films by TEM Correlated with Cu/Low-k Processes

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Handōtai-Shūseki-Kairo-Gijutsu-Shinpojiumu (68 : 2005 : Kyōto) Handōtai, Shuseki-Kairo-Gijutsu-68.-Shinpojiumu-kōen-ronbunshū
1. Verfasser:	Ogawa, S. (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Shimada, M. (VerfasserIn), Shimanuki, J. (VerfasserIn), Otsuka, Y. (VerfasserIn), Harada, T. (VerfasserIn), Inoue, Y. (VerfasserIn)
Pages:	68
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	2005
Schlagworte:
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!