Nano-scale Stress Analysis in Dielectric Films with Cu Interconnects Using Cathodoluminescence Spectroscopy

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Handōtai-Shūseki-Kairo-Gijutsu-Shinpojiumu (68 : 2005 : Kyōto) Handōtai, Shuseki-Kairo-Gijutsu-68.-Shinpojiumu-kōen-ronbunshū
1. Verfasser:	Kakinuma, S. (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Kodera, M. (VerfasserIn), Pezzotti, G. (VerfasserIn)
Pages:	68
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	2005
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