DEVELOPMENT AND APPLICATION OF SIMULATION SYSTEM FOR EVALUATING ZLECTRON BEAM WRITING AND DEVELOPMENT PROCESS SEED

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Handōtai, Shūseki Kairo Gijutsu Shinpojiumu (31. : 1986 : Tokio) Handōtai, Shūseki Kairo Gijutsu Dai 31kai Shinpojiumu
1. Verfasser:	Suga, O. (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Okazaki, S. (VerfasserIn), Murai, F. (VerfasserIn), Matsuzawa, T. (VerfasserIn), Moniwa, A. (VerfasserIn), Aoki, E. (VerfasserIn)
Pages:	31
Format:	UnknownFormat
Sprache:	jpn
Veröffentlicht:	1986
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