Characterization of Damage to Porous Low-k Material Caused by Remote Plasma Ashing

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Handōtai-Shūseki-Kairo-Gijutsu-Shinpojiumu (67 : 2004 : Tokio) Handōtai, Shuseki-Kairo-Gijutsu-67.-Shinpojiumu-kōen-ronbunshū
1. Verfasser:	Inoue, O. (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Jimbo, T. (VerfasserIn), Katsuyama, K. (VerfasserIn), Tamaru, T. (VerfasserIn)
Pages:	67
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	2004
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