Pore Structure-control for PECVD-derived SiOCH Film for Advanced Asics

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Handōtai-Shūseki-Kairo-Gijutsu-Shinpojiumu (67 : 2004 : Tokio) Handōtai, Shuseki-Kairo-Gijutsu-67.-Shinpojiumu-kōen-ronbunshū
1. Verfasser:	Hayashi, Y. (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Itoh, F. (VerfasserIn), Takeuchi, T. (VerfasserIn), Saito, S. (VerfasserIn), Tada, M. (VerfasserIn), Ohtake, H. (VerfasserIn)
Pages:	67
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	2004
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Beschreibung
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