Direct patterning of photosensitive porous low-k film and its electrical characteristics

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Handōtai-Shūseki-Kairo-Gijutsu-Shinpojiumu (65 : 2003 : Tokio) Handōtai, Shuseki-Kairo-Gijutsu-65.-Shinpojiumu-kōen-ronbunshū
1. Verfasser:	Kuroki, S. (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Sakamoto, S. (VerfasserIn), Kikkawa, T. (VerfasserIn)
Pages:	65
Format:	UnknownFormat
Sprache:	jpn
Veröffentlicht:	2003
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