Reliability Improvement of 90nm-node Cu/Low-k Interconnect

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Handōtai-Shūseki-Kairo-Gijutsu-Shinpojiumu (64 : 2003 : Osaka) Handōtai, Shuseki-Kairo-Gijutsu-64.-Shinpojiumu-kōen-ronbunshū
1. Verfasser:	Hashimoto, K. (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Matsumoto, S. (VerfasserIn), Ishii, A. (VerfasserIn), Tomita, K. (VerfasserIn), Nishioka, Y. (VerfasserIn), Sekiguchi, M. (VerfasserIn), Iwasaki, A. (VerfasserIn), Isono, S. (VerfasserIn), Satake, T. (VerfasserIn), Okazaki, G. (VerfasserIn), Fujisawa, M. (VerfasserIn), Matsumoto, M. (VerfasserIn), Yamamoto, S. (VerfasserIn), Matsuura, M. (VerfasserIn)
Pages:	64
Format:	UnknownFormat
Sprache:	jpn
Veröffentlicht:	2003
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