Growth of Cu and Ta films by metal chloride reduction CVD

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Handōtai-Shūseki-Kairo-Gijutsu-Shinpojiumu (64 : 2003 : Osaka) Handōtai, Shuseki-Kairo-Gijutsu-64.-Shinpojiumu-kōen-ronbunshū
1. Verfasser:	Sakamoto, H. (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Ogura, Y. (VerfasserIn), Yahata, N. (VerfasserIn), Ooba, Y. (VerfasserIn)
Pages:	64
Format:	UnknownFormat
Sprache:	jpn
Veröffentlicht:	2003
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