Current Status of Low-k Materials and Processes toward 65 nm Node Intetconnect Technology
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Veröffentlicht in: | Handōtai-Shūseki-Kairo-Gijutsu-Shinpojiumu (64 : 2003 : Osaka) Handōtai, Shuseki-Kairo-Gijutsu-64.-Shinpojiumu-kōen-ronbunshū |
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1. Verfasser: | |
Pages: | 64 |
Format: | UnknownFormat |
Sprache: | jpn |
Veröffentlicht: |
2003
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