Current Status of Low-k Materials and Processes toward 65 nm Node Intetconnect Technology

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Handōtai-Shūseki-Kairo-Gijutsu-Shinpojiumu (64 : 2003 : Osaka) Handōtai, Shuseki-Kairo-Gijutsu-64.-Shinpojiumu-kōen-ronbunshū
1. Verfasser: Kobayashi, N. (VerfasserIn)
Pages:64
Format: UnknownFormat
Sprache:jpn
Veröffentlicht: 2003
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