Current Status of Low-k Materials and Processes toward 65 nm Node Intetconnect Technology
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| Veröffentlicht in: | Handōtai-Shūseki-Kairo-Gijutsu-Shinpojiumu (64 : 2003 : Osaka) Handōtai, Shuseki-Kairo-Gijutsu-64.-Shinpojiumu-kōen-ronbunshū |
|---|---|
| 1. Verfasser: | |
| Pages: | 64 |
| Format: | UnknownFormat |
| Sprache: | jpn |
| Veröffentlicht: |
2003
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| Schlagworte: | |
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