Change in Electrical Property of MOS Structures by Plasma Irradiation

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Handōtai, Shuseki-Kairo-Gijutsu-73.-Shinpojiumu-kōen-ronbunshū
1. Verfasser:	Hasumi, M. (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Takiuchi, M. (VerfasserIn), Shimokawa, M. (VerfasserIn), Sameshima, T. (VerfasserIn)
Pages:	73
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	2009
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