Advanced BEOL Integration using Non-Porogen Low-k Materials

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Handōtai, Shuseki-Kairo-Gijutsu-73.-Shinpojiumu-kōen-ronbunshū
1. Verfasser:	Owada, T. (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Asami, N. (VerfasserIn), Ohara, N. (VerfasserIn), Watatani, H. (VerfasserIn), Nara, Y. (VerfasserIn)
Pages:	73
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	2009
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Beschreibung
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