Comparison of Chemical Binding States Between Ultra Shallow Plasma Doping(PD) and Ion Implantation(I/I) Samples by using Hard X-ray Photoelectron Spectroscopy(HX-PES)

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Handōtai, Shuseki-Kairo-Gijutsu-72.-Shinpojiumu-kōen-ronbunshū
1. Verfasser:	Jin, C. G. (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Kobata, M. (VerfasserIn), Sasaki, Y. (VerfasserIn), Okashita, K. (VerfasserIn), Nakamoto, K. (VerfasserIn), Mizuno, B. (VerfasserIn), Ikenaga, E. (VerfasserIn), Kobayashi, K. (VerfasserIn)
Pages:	72
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	2008
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