Mechanisms of Effective Work Function Modulation of Metal/Hf-based High-k Gate Stacks

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Handōtai, Shuseki-Kairo-Gijutsu-72.-Shinpojiumu-kōen-ronbunshū
1. Verfasser:	Watanabe, H. (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Kita, Y. (VerfasserIn), Hosoi, T. (VerfasserIn), Shimura, T. (VerfasserIn), Shiraishi, K. (VerfasserIn), Nara, Y. (VerfasserIn), Yamada, K. (VerfasserIn)
Pages:	72
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	2008
Schlagworte:
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