PEALD RuTa Composite Film as a Seed Layer for CVD Cu Filling

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Handōtai, Shuseki-Kairo-Gijutsu-72.-Shinpojiumu-kōen-ronbunshū
1. Verfasser:	Jeong, D. (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Inoue, H. (VerfasserIn), Shinriki, H. (VerfasserIn)
Pages:	72
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	2008
Schlagworte:
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Beschreibung
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