The Study of Reduction in Etching-rate of SiOC Film and Improvement of Etching-stop in Via-etching

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Handōtai, Shuseki-Kairo-Gijutsu-72.-Shinpojiumu-kōen-ronbunshū
1. Verfasser:	Momonoi, Y. (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Kihara, Y. (VerfasserIn), Tanaka, J. (VerfasserIn), Yonekura, K. (VerfasserIn), Hayamizu, T. (VerfasserIn)
Pages:	72
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	2008
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