Experimental Study on Improvement of the Fermi-level Pinning in Metal/HfSiON Gate Stack

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Handōtai, Shuseki-Kairo-Gijutsu-71.-Shinpojiumu-kōen-ronbunshū
1. Verfasser:	Kadoshima, M. (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Sugita, Y. (VerfasserIn), Shiraishi, K. (VerfasserIn), Watanabe, H. (VerfasserIn), Ohta, A. (VerfasserIn), Miyazaki, S. (VerfasserIn), Nakajima, K. (VerfasserIn), Chikyow, T. (VerfasserIn), Yamada, K. (VerfasserIn), Aminaka, T. (VerfasserIn), Kurosawa, E. (VerfasserIn), Matsuki, T. (VerfasserIn), Aoyama, T. (VerfasserIn), Nara, Y. (VerfasserIn), Ohji, Y. (VerfasserIn)
Pages:	71
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	2007
Schlagworte:
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!