Fracture Property Improvements of Porous Low-k Dielectrics

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Handōtai, Shuseki-Kairo-Gijutsu-70.-Shinpojiumu-kōen-ronbunshū
1. Verfasser:	Kokubo, T. (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Sekiguchi, M. (VerfasserIn), Takahashi, Y. (VerfasserIn)
Pages:	70
Format:	UnknownFormat
Sprache:	jpn
Veröffentlicht:	2006
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