Polymer Abrasive Slurry for Cu-CMP

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Handōtai, Shuseki-Kairo-Gijutsu-70.-Shinpojiumu-kōen-ronbunshū
1. Verfasser:	Nakamura, S. (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Shindo, K. (VerfasserIn), Fujii, S. (VerfasserIn), Eto, A. (VerfasserIn), Ishizuka, T. (VerfasserIn), Moorthi, K. (VerfasserIn)
Pages:	70
Format:	UnknownFormat
Sprache:	jpn
Veröffentlicht:	2006
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Beschreibung
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