UV-Cured ULK Material for Mechanically Reliable Cu/UKL Interconnect!

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Handōtai-Shūseki-Kairo-Gijutsu-Shinpojiumu (69 : 2005 : Tokio) Handōtai, Shuseki-Kairo-Gijutsu-69.-Shinpojiumu-kōen-ronbunshū
1. Verfasser: Furusawa, T. (VerfasserIn)
Weitere Verfasser: Miura, N. (VerfasserIn), Matsumoto, M. (VerfasserIn), Goto, K. (VerfasserIn), Hashii, S. (VerfasserIn), Fujiwara, Y. (VerfasserIn), Yoshikawa, K. (VerfasserIn), Yonekura, K. (VerfasserIn), Asano, Y. (VerfasserIn), Ichiki, T. (VerfasserIn), Kawanabe, N. (VerfasserIn), Matsuzawa, T. (VerfasserIn), Matsuura, M. (VerfasserIn)
Pages:69
Format: UnknownFormat
Sprache:jpn
Veröffentlicht: 2005
Schlagworte:
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Beschreibung
Keine Beschreibung verfügbar.