Development of Novel Thin Film Fabrication Technology using Supercritical Fluid : Application for Cu Interconncets in Ultra Large Scale Integration and Micro Electro Mechanical Systems

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Handōtai, Shuseki Kairo Gijutsu 76. Shinpojiumu kōen ronbunshū
1. Verfasser:	Momose, Takeshi (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Sugiyama, Masakazu (VerfasserIn), Shimogaki, Yukihiro (VerfasserIn)
Pages:	76
Format:	UnknownFormat
Sprache:	jpn
Veröffentlicht:	2012
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