Abschlussbericht zum Forschungsvorhaben GENERATOR - Generative Herstellung effizienter Piezo-MEMS für die Mikroaktorik : Laufzeit des Vorhabens nach Verlängerung: 01.01.2017-31.10.2020 = Final report on the research project GENERATOR - additive manufacturing of efficient piezo-MEMS for microactuators

Abschlussbericht zum Forschungsvorhaben GENERATOR - Generative Herstellung effizienter Piezo-MEMS für die Mikroaktorik Laufzeit des Vorhabens nach Verlängerung: 01.01.2017-31.10.2020 = Final report on the research project GENERATOR - additive manufacturing of efficient piezo-MEMS for microactuators

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Grünzig, Sven (VerfasserIn)
Körperschaft: Fraunhofer-Institut für Siliziumtechnologie (Herausgebendes Organ)
Weitere Verfasser: Fink, Samuel (VerfasserIn), Lübben, Jan (VerfasserIn), Schneller, Theodor (VerfasserIn), Vedder, Christian (VerfasserIn), Böttger, Ulrich (VerfasserIn), Stoppel, Fabian (VerfasserIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:ger
Veröffentlicht: Itzehoe Fraunhofer-Institut für Siliziumtechnologie ISIT 24.01.2022
Schlagworte:
Forschungsbericht
Online Zugang:Inhaltsverzeichnis
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Beschreibung
Beschreibung:Förderkennzeichen BMBF 03VP02221
Verbundnummer 01173900
Paralleltitel dem englischen Berichtsblatt entnommen
Unterschiede zwischen dem gedruckten Dokument und der elektronischen Ressource können nicht ausgeschlossen werden
Beschreibung:39 Seiten, 3 ungezählte Blätter
Illustrationen, Diagramme