Development of a source of accelerated neutral particles for the final purification of dielectric substrates

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	International Conference on X-Ray, Electrovacuum and Biomedical Technique (7. : 2020 : Sankt Petersburg) 7th International Conference on X-ray, Electrovacuum and Biomedical Technique
1. Verfasser:	Simon, V. A. (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Kostrin, D. K. (VerfasserIn), Trifonov, S. A. (VerfasserIn)
Pages:	7
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	2021
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