System-aware Design Methodology for MEMS based on High-order Parametric Finite-Element Library Combined with Model-Order-Reduction

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	International Conference and Exhibition on Integration Issues of Miniaturized Systems - MEMS, NEMS, ICs and Electronic Components (8. : 2014 : Wien) Smart Systems Integration 2014
1. Verfasser:	Sanginaro, Alessandro (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Demarchi, Danilo (VerfasserIn), Schropfer, Gerold (VerfasserIn), Sarl, Coventor (VerfasserIn), Zerbini, Sarah (VerfasserIn), Ekwinska, Magdalena (VerfasserIn), Houlihan, Ruth (VerfasserIn)
Pages:	2014
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	2019
Schlagworte:
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